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精密電阻
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芯片里電阻怎么實現(xiàn)

作者:Analog CMOS

不僅可以做電容、電阻,還可以做:電感、MOS管、三極管、二極管等

平時消費者看到的成品是這樣子

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打開黑色外套,內(nèi)部核心大概長這樣子

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里面應該會有的典型器件:

1. 電容有poly 電容 MOS電容  MOM電容

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2. 電阻:有poly電阻diffusion電阻

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3. 電感

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4. 二極管

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5. 三極管

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IC的制作過程實際上就是在硅襯底上多次反復進行薄膜形成、光刻、摻雜等加工。

具體操作有刻蝕、注入、蒸發(fā)、濺射、生長、沉淀、冷卻、退火等復雜的工藝。

工藝步驟

1. 潔凈工藝

給硅片提供潔凈的環(huán)境

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2. 氧化工藝

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3. 薄膜工藝

IC的制作過程實際上就是在硅襯底上多次反復進行薄膜形成、光刻、摻雜等加工。


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4. 光刻工藝

把(掩膜版上的)圖形轉移到硅片上

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5. 摻雜工藝

摻雜就是將硼、磷、砷等元素加到硅圓片內(nèi)或多晶硅等薄膜內(nèi),改變其雜質濃度,以改變硅片的性質,如從n型變成p型、從p型變成n型,或改變其電阻率。


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6. 刻蝕工藝

刻蝕就是利用光刻膠或其它材料作掩蔽層,對沒有保護的區(qū)域進行腐蝕,最終實現(xiàn)掩膜版圖形變成硅片上圖形的圖形轉移。


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7. 平坦化工藝

在集成電路工藝發(fā)展過程中,隨著加工層數(shù)的增加,出現(xiàn)了表面的臺階高差越來越大的問題。

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一個簡單的兩個器件組成的反相器,至少經(jīng)過前面的幾個最基本操作,才能實現(xiàn)

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